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原文发布时刻: 2024-01-29 10:26 来历: 水母GPT 影响力评价指数：10
股份有限公司获得了一项名为“石墨舟”的专利(授权公告号CN220393901U，请求日期为2023年6月)。该专利描绘了一种石墨舟，包含多个石墨片、垫块、舟脚和连接件。石墨片平行设置，连接件将它们连接起来，垫块与连接件相连，用于距离石墨片。舟脚与接近石墨舟底部的垫块相连，用于支撑石墨舟。舟脚和部分垫块上设有通风孔，工艺气体经过通风孔进入，提高了工艺气体浓度和散布均匀性，来提高晶片外表镀膜的均匀性。
